Mikroskop Laser untuk Analisis Material
Smart Workflow, Eksperimen Lebih Cepat
Dibangun untuk analisis kegagalan dan penelitian rekayasa material, mikroskop laser OLS5100 menggabungkan akurasi pengukuran yang luar biasa dan kinerja optik dengan alat pintar yang membuat mikroskop mudah digunakan. Ukur bentuk dan kekasaran permukaan dengan tepat pada tingkat submikron dengan cepat dan efisien untuk menyederhanakan alur kerja Anda dengan data yang dapat dipercaya.
Model | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
---|---|---|---|---|---|---|
Total magnification |
54x–17,280x |
|||||
Field of view |
16 µm–5,120 µm |
|||||
Measurement principle | Optical system | Reflection-type confocal laser scanning laser microscope Reflection-type confocal laser scanning laser-DIC microscope Color Color-DIC |
||||
Light receiving element | Laser: Photomultiplier (2 channels) Color: CMOS color camera |
|||||
Height measurement | Display resolution | 0.5 nm | ||||
Dynamic range | 16 bits | |||||
Repeatability σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0.45 μm, 10X: 0.1 μm, 20X: 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | |||||
Accuracy *1 *3 *5 | 0.15+L/100 μm (L:Measuring length[μm]) | |||||
Accuracy for stitched image *1 *3 *5 | 10X: 5.0+L/100 μm, 20X or higher: 1.0+L/100 μm (L: Stitching length [μm]) | |||||
Measurement noise (Sq noise) *1 *4 *5 | 1 nm (Type) | |||||
Width measurement | Display resolution | 1 nm | ||||
Repeatability 3σn-1 *1 *2 *5 |
5X: 0.4 μm, 10X: 0.2 μm, 20X: 0.05 μm, 50X: 0.04 μm, 100X: 0.02 μm |
|||||
Accuracy *1 *3 *5 | Measurement value +/- 1.5% | |||||
Accuracy for stitched image *1 *3 *5 | 10X: 24+0.5L μm, 20X: 15+0.5L μm, 50X: 9+0.5L μm, 100X: 7+0.5L μm (L: Stitching length [mm]) | |||||
Maximum number of measuring points in a single measurement |
4096 × 4096 pixels |
|||||
Maximum number of measuring points |
36-megapixels |
|||||
XY stage configuration | Length measurement module | • | NA | NA | • | |
Operating range |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) Motorized |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) Manual |
300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) Motorized |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) Motorized |
||
Maximum sample height |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
210 mm (8.3 in.) |
||
Laser light source | Wavelength | 405 nm | ||||
Maximum output | 0.95 mW | |||||
Laser class | Class 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
Color light source | White LED | |||||
Electrical power | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Mass | Microscope body | Approx. 31 kg (68.3 lb) | Approx. 32 kg (70.5 lb) | Approx. 50 kg (110.2 lb) | Approx. 43 kg (94.8 lb) | |
Control box | Approx. 12 kg (26.5 lb) |
*1 Dijamin bila digunakan dalam suhu konstan dan lingkungan suhu konstan (suhu: 20˚C±1˚C, kelembaban: 50%±10%) yang ditentukan dalam ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Untuk 20x atau lebih tinggi, bila diukur dengan tujuan seri MPLAPON LEXT.
*3 Saat diukur dengan tujuan LEXT khusus.
*4 Nilai tipikal ketika diukur dengan tujuan MPLAPON100XLEXT, dan mungkin berbeda dari nilai yang dijamin.
*5 Dijamin di bawah Sistem Sertifikat Olympus.
** Lisensi OS Window 10 telah disertifikasi untuk pengontrol mikroskop yang disediakan oleh olympus. Oleh karena itu, persyaratan lisensi Microsoft diterapkan dan Anda menyetujui persyaratan tersebut.